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詳細介紹真空滲硅爐裝備

真空滲硅爐裝備的主要配置:

裝料方式:升降式裝出料或上裝料

爐殼:真空殼體為耐高溫不銹鋼

保溫層:石墨

加熱器:感應加熱

工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產

真空泵和真空計:進口/國產

人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機

PLC:霍尼韋爾DCS控制器、西門子PLC、歐姆龍PLC

控溫:霍尼韋爾DCS控制器、日本導電儀表、霍尼韋爾儀表、歐陸儀表

熱電偶:紅外或熱偶型

電器元件:天正/正泰/施耐德/西門子

真空滲硅爐裝備的圖片:

真空滲硅爐裝備(圖1)


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